感光性干膜"Photec"

特点

RY5100系列

• 代表性干膜型号：PKG工艺用干膜RY-5125
• 卓越的附着力、解析度、线宽稳定性、良好的去膜性，支持半加成工艺。
• 显影后干膜脚部小，显影后干膜侧壁形状优异，最适合高精细的线路成形。

RY-5125显影后的干膜侧壁（L/S=10/10um ST=11/41）

RY-5125基本特性一例（测试数据的一例）

RY-5125
感光能量（mj/cm2）	ST=8	8
	ST=11	130
	ST=14	180
最短显影时间（sec）	20
解析度	ST=8	6
	ST=11	7
	ST=14	10
密着性(um)	ST=8	10
	ST=11	7
	ST=14	5

RY9000系列

• 代表性干膜型号：RY-9015。
• 优良的密着性、解析度、线宽稳定性、去膜片细小，具有良好的去膜性。
• 显影后显影后干膜脚部小，侧壁形状良好，最适合高精细的线路成形。

RY-9015的特性介绍（测试数据的一例）

RY-9015
感光能量（mj/cm2）	ST=14/41	38
	ST=17/41	60
	ST=20/41	95
密着性	ST=14/41	6
	ST=17/41	5
	ST=20/41	5
解析度	ST=14/41	12
	ST=17/41	15
	ST=20/41	20
最短显影时间（sec）		7