感光性干膜"Photec"

特点

RD1200系列

• 代表性干膜型号：RD-1215/RD-1219/RD-1225。
• 适用于DLP/UV-LDI曝光系统，具有高图像对比性。
• 具有高解析度，高密着性的特性。
  L/S=8/8μm(RD-1225，使用Orbotech（奥宝电子）Paragon-Ultra/ HITACHI VIA MECHANICS（日立维亚机械）DE-6UH)
• 显影后干膜侧壁陡直，可形成优良的线路。

曝光	DE-1UH（405nm）
显影时间（sec）	18
显影后的干膜侧壁	L/S=6/6um
电镀后的线路侧壁	L/S=6/6um

RD-1215显影后和电镀后的线路侧壁（测试数据中的一例）